发明名称 |
一种硅片夹持机构 |
摘要 |
本实用新型公开了一种硅片夹持机构,包括旋转盘、设置在旋转盘上的若干个伸缩臂和固定在伸缩臂上的夹头,其中,所述夹头用于夹持硅片,所述夹头包括钳口,所述钳口具有一对夹持面,所述夹持面具有依次相连接的支撑棱、阻挡销和夹持块。本实用新型结构简单,夹持稳定可靠,夹持效果好、不损坏硅片,支撑棱和阻挡销使得夹持更稳定可靠。 |
申请公布号 |
CN204772060U |
申请公布日期 |
2015.11.18 |
申请号 |
CN201520482194.3 |
申请日期 |
2015.07.02 |
申请人 |
温州市赛拉弗能源有限公司 |
发明人 |
孙显强 |
分类号 |
B24B41/06(2012.01)I |
主分类号 |
B24B41/06(2012.01)I |
代理机构 |
北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 |
代理人 |
汤东凤 |
主权项 |
一种硅片夹持机构,包括旋转盘(2)、设置在旋转盘(2)上的若干个伸缩臂(3)和固定在伸缩臂(3)上的夹头(4),其特征在于,所述夹头(4)用于夹持硅片(1),所述夹头(4)包括钳口(5),所述钳口(5)具有一对夹持面,所述夹持面具有依次相连接的支撑棱(51)、阻挡销(52)和夹持块(53)。 |
地址 |
325011 浙江省温州市经济技术开发区滨海一道1677号 |