发明名称 一种硅片夹持机构
摘要 本实用新型公开了一种硅片夹持机构,包括旋转盘、设置在旋转盘上的若干个伸缩臂和固定在伸缩臂上的夹头,其中,所述夹头用于夹持硅片,所述夹头包括钳口,所述钳口具有一对夹持面,所述夹持面具有依次相连接的支撑棱、阻挡销和夹持块。本实用新型结构简单,夹持稳定可靠,夹持效果好、不损坏硅片,支撑棱和阻挡销使得夹持更稳定可靠。
申请公布号 CN204772060U 申请公布日期 2015.11.18
申请号 CN201520482194.3 申请日期 2015.07.02
申请人 温州市赛拉弗能源有限公司 发明人 孙显强
分类号 B24B41/06(2012.01)I 主分类号 B24B41/06(2012.01)I
代理机构 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 代理人 汤东凤
主权项 一种硅片夹持机构,包括旋转盘(2)、设置在旋转盘(2)上的若干个伸缩臂(3)和固定在伸缩臂(3)上的夹头(4),其特征在于,所述夹头(4)用于夹持硅片(1),所述夹头(4)包括钳口(5),所述钳口(5)具有一对夹持面,所述夹持面具有依次相连接的支撑棱(51)、阻挡销(52)和夹持块(53)。
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