一种电子级混合气体自动配气装置

摘要

本实用新型公开了一种电子级混合气体自动配气装置，该装置配气精确性高，稳定性好、杂质含量低，且能够大大节省人力资源，提高工作效率。具体包括：原料气瓶、温控单元、真空单元、产品气瓶、电子天平和控制单元。其中产品气瓶放置在电子天平上，通过设置有电磁阀和单向阀的管路与气体输送管道的输出端相连；原料气瓶通过依次设置有隔膜阀和电磁阀的管路与气体输送管道的输入端相连。装置中的电磁阀和电子天平的输出终端分别与控制单元相连，通过控制单元控制整个配气过程。

主权项

一种电子级混合气体自动配气装置，其特征在于，包括：原料气瓶、温控单元、真空单元、产品气瓶、电子天平和控制单元；所述原料气瓶包括组分气瓶和稀释气瓶，所述温控单元包括加热装置和控制所述加热装置开合的电磁阀；所述真空单元包括抽真空装置和控制所述抽真空装置开合的电磁阀；其连接关系为：所述组分气瓶通过依次设置有隔膜阀和电磁阀A的管路与气体输送管道的输入端相连，所述稀释气瓶的出气口通过依次设置有隔膜阀和电磁阀B的管路与气体输送管道的输入端相连；在所述气体输送管道上分别设置温控单元和真空单元；所述产品气瓶放置在电子天平上，产品气瓶通过设置有电磁阀C和单向阀的管路与气体输送管道的输出端相连；所述电子天平的输出终端与控制单元相连；上述所有电磁阀均与所述控制单元相连。