一种用于高温扩散炉的喷淋管及其应用

摘要

本发明公开了一种气体扩散喷淋管，所述气体扩散喷淋管的一端为进气口，所述喷淋管的另一端为密封端，所述喷淋管上设有喷淋口，所述喷淋口与弯曲喷嘴连通，所述弯曲喷嘴上设有弯曲部和出气口，所述出气口的内径大于喷淋口的直径，所述出气口的出气方向与喷淋管的进气口的进气方向一致。本发明还公开利用上述气体扩散喷淋管的高温扩散炉，改变了携源氮气喷淋的方向，将磷源通过喷淋管直接导入到扩散炉的不同位置，携源氮气可以从新型喷淋管平稳流出而不会造成紊流，炉管中的硅片不再因位置的限制而无法与磷源进行充分反应。

主权项

一种气体扩散喷淋管，其特征在于，所述气体扩散喷淋管的一端为进气口(1)，所述喷淋管的另一端为密封端(2)，所述喷淋管上设有喷淋口(3)，所述喷淋口(3)与弯曲喷嘴(4)连通，所述弯曲喷嘴(4)上设有弯曲部(41)和出气口(42)。