| 发明名称 | 一种渐变式间距的石墨舟 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种渐变间距式的石墨舟，所述石墨舟包含有多片平行设置的石墨片；从所述石墨舟的中心到所述石墨舟的外侧，相邻两片石墨片之间的间距依次为D<sub>0</sub>、D<sub>1</sub>……D<sub>n-1</sub>、D<sub>n</sub>；所述D<sub>0</sub>、D<sub>1</sub>……D<sub>n-1</sub>、D<sub>n</sub>之间的大小关系为：D<sub>0</sub>>D<sub>1</sub>>……>D<sub>n-1</sub>>D<sub>n</sub>；且D<sub>0</sub>-D<sub>1</sub>=D<sub>1</sub>-D<sub>2</sub>=……=D<sub>n-1</sub>-D<sub>n</sub>=a（a>0），a为相邻两石墨片之间的距离差。相应的，本发明还提供一种使用该石墨舟对硅片进行镀膜的方法。采用本发明提供的技术方案，可以有效解决经石墨舟镀膜后，减反膜膜厚不均匀的问题，提高产品的合格率。 | ||
| 申请公布号 | CN103614708B | 申请公布日期 | 2015.11.18 |
| 申请号 | CN201310667675.7 | 申请日期 | 2013.12.10 |
| 申请人 | 浙江正泰太阳能科技有限公司 | 发明人 | 胡金艳;韩玮智;王仕鹏;黄海燕;陆川 |
| 分类号 | C23C16/458(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/458(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京汉昊知识产权代理事务所(普通合伙) 11370 | 代理人 | 冯谱 |
| 主权项 | 一种渐变式间距的石墨舟，所述石墨舟包含有多片平行设置的石墨片；其特征在于：从所述石墨舟的中心到所述石墨舟的外侧，相邻两片石墨片之间的间距依次为D<sub>0</sub>、D<sub>1</sub>……D<sub>n‑1</sub>、D<sub>n</sub>；所述D<sub>0</sub>、D<sub>1</sub>……D<sub>n‑1</sub>、D<sub>n</sub>之间的大小关系为：D<sub>0</sub>>D<sub>1</sub>>……>D<sub>n‑1</sub>>D<sub>n</sub>；且D<sub>0</sub>‑D<sub>1</sub>＝D<sub>1</sub>‑D<sub>2</sub>＝……＝D<sub>n‑1</sub>‑D<sub>n</sub>＝a，a>0，a为紧邻三片石墨片中两两之间的间距的差值。 | ||
| 地址 | 310053 浙江省杭州市滨江区滨安路1335号 | ||