温度控制单元和系统、基板载置台、处理装置和处理方法

摘要

本发明提供一种能够使基板的温度快速变化的温度控制单元。与基板（W）接触对该基板（W）的温度进行控制的温度控制单元（15）具备：与基板（W）接触的板状的单元主体（16）、埋设在单元主体（16）内的多个直线状的加热器（17）、和形成于单元主体（16）内并在内部流通规定温度的介质的冷却流路。各加热器（17）彼此平行地配置，冷却流路（18）以经由相邻的两个加热器（17）之间的部分的方式配置。在俯视单元主体（16）时的与一个加热器（17）垂直的方向，各加热器（17）和冷却流路（18）以等间隔交替配置。

主权项

一种温度控制单元，其与基板接触，控制该基板的温度，该温度控制单元的特征在于，包括：与所述基板接触的板状的主体；埋设在该主体内的多个直线状的加热器；将所述多个直线状的加热器分为相对的两个组并加以连接的两个电线；和形成于所述主体内，在内部流通规定温度的介质的介质流路，各所述加热器以彼此平行、且所述两个组的一组中相邻的两个加热器之间存在所述两个组的另一组的一个加热器的方式配置，所述两个电线中的一个电线连接所述一组的所述加热器的一侧的端部，所述两个电线中的另一个电线连接所述另一组的所述加热器的另一侧的端部，使得所述一组和所述另一组的开放端彼此相对，所述介质流路以经由相邻的两个所述加热器之间的部分、且在所述加热器的端部屈曲的方式配置。