强电介质薄膜形成用组合物、强电介质薄膜的形成方法及通过该方法形成的强电介质薄膜

摘要

用于形成选自PLZT、PZT及PT的1种强电介质薄膜的、本发明的强电介质薄膜形成用组合物是用于形成采取混合复合金属氧化物形态的薄膜的液态组合物，所述混合复合金属氧化物是在通式（1）：（Pb_xLa_y）（Zr_zTi_（1－z））Ｏ₃（式（1）中0.9＜x＜1.3、0≦y＜0.1、0≦z＜0.9）表示的复合金属氧化物A中混合了复合氧化物B或通式（2）C_nH_2n＋1COOH（其中，3≦n≦7）表示的羧酸B得到的，复合氧化物B含有选自P（磷）、Si、Ce及Bi的1种或2种以上、选自Sn、Sm、Nd及Y（钇）的1种或2种以上。

主权项

一种强电介质薄膜形成用组合物，为用于形成选自PLZT、PZT及PT的1种强电介质薄膜的强电介质薄膜形成用组合物，其特征在于，是用于形成采取混合复合金属氧化物形态的薄膜的液态组合物，所述混合复合金属氧化物是在通式(1):(Pb_xLa_y)(Zr_zTi_(1‑z))O₃表示的复合金属氧化物A中混合包含选自Sn、Sm、Nd及Y(钇)的1种或2种以上的复合氧化物B得到的，式(1)中0.9<x<1.3、0≦y<0.1、0≦z<0.9，用于构成上述复合金属氧化物A及上述复合氧化物B的原料是有机基团经由其氧或氮原子与金属元素键合的化合物，包含用于构成上述复合金属氧化物A的原料及用于构成上述复合氧化物B的原料以能够提供上述通式(1)表示的金属原子比的比例、并且、复合氧化物B含有Sn时，复合氧化物B和复合金属氧化物A的摩尔比B/A为0.003≦B/A≦0.05的范围内地溶解在有机溶剂中的有机金属化合物溶液，复合氧化物B含有选自Sm、Nd及Y(钇)的1种或2种以上时，复合氧化物B和复合金属氧化物A的摩尔比B/A为0.005≦B/A<0.03的范围内地溶解在有机溶剂中的有机金属化合物溶液。