一种接触式平行板差动三维力压力传感器

摘要

本实用新型公开了一种接触式平行板三维力传感器，所述传感器包括控制单元、与控制单元分别连接的X方向差动电容单元组合和Y方向差动电容单元组合，所述X方向差动电容单元组合通过电容值相减消除Y方向切向力影响计算X方向的切向力，所述Y方向差动电容单元组合通过电容值相减消除X方向切向力影响计算Y方向的切向力，所述X方向差动电容单元组合和Y方向差动电容单元组合的电容求和消除切向力影响计算电容传感器的法向力。

主权项

一种接触式平行板差动三维力压力传感器，其特征在于,所述传感器包括控制单元、与控制单元分别连接的X方向差动电容单元组合和Y方向差动电容单元组合，所述X方向差动电容单元组合通过电容值相减计算X方向的切向力且消除Y方向切向力影响，所述Y方向差动电容单元组合通过电容值相减计算Y方向的切向力且消除X方向切向力影响，所述X方向差动电容单元组合和Y方向差动电容单元组合的电容值求和计算电容传感器的法向力且消除切向力影响。