硅片输送机构

摘要

本实用新型提供一种硅片输送机构，包括硅片存储架、横移机构、输送机构以及硅片堆叠架，横移机构包括横移导轨、滑动设置于横移导轨上的滑动架、沿着上下方向滑动设置的吸盘、驱动吸盘滑动的气缸，输送机构包括转动设置的两个转辊、呈环形设置且绕设于两个转辊上的两根输送绳,输送机构的上方设置有用于检测硅片质量的检测机构，检测机构包括L形支撑架、设置于L形支撑架上的摄像头，摄像头与显示屏相连接，通过自动化的方式将硅片输送堆叠，生产效率高，且能够在线检测。

主权项

硅片输送机构，包括硅片存储架、横移机构、输送机构以及硅片堆叠架，所述横移机构包括横移导轨、滑动设置于所述横移导轨上的滑动架、沿着上下方向滑动设置的吸盘、驱动所述吸盘滑动的气缸，所述输送机构包括转动设置的两个转辊、呈环形设置且绕设于两个所述转辊上的两根输送绳, 其特征在于：所述输送机构的上方设置有用于检测硅片质量的检测机构，所述检测机构包括L形支撑架、设置于所述L形支撑架上的摄像头，所述摄像头与显示屏相连接。