六自由度磁悬浮平台

摘要

本实用新型公开了一种六自由度磁悬浮平台，本实用新型在磁悬浮平台中引入音圈电机技术，音圈电机具有推力均匀，运动平稳，响应快等特点，从而大大提高磁悬浮平台的性能，使得平台的控制精度更高，最小步进减小，同时系统响应频率能够达到1kHz以上；本实用新型在方形基座上固定8个音圈，其中四个分布在方形基座四边，另外四个分布在一对对角，能够实现6个自由度的运动与精确控制。

主权项

一种六自由度磁悬浮平台，其特征在于：包括一个方形基座（1）和一个方形载物平台（2），所述的方形载物平台（2）的一对对角上分别设有一个方形的水平磁体固定装置（3），所述的方形的水平磁体固定装置（3）向外的相邻两面分别设有水平永磁体（11），所述的水平永磁体（11）外套有固定在方形基座（1）上的水平音圈装置（4），所述的方形基座（1）任一边设有一个光电传感器（8），与其相邻的一边设有二个光电传感器（8）；所述的方形基座（1）中间设有呈方形分布的四个竖直音圈装置（6），所述的四个竖直音圈装置之间（6）设有呈三角分布三个电容传感器（9）；所述的方形载物平台（2）下设有四个竖直磁体固定装置（10），所述的竖直磁体固定装置（10）下设有竖直永磁体（12），所述的竖直永磁体（12）置于竖直音圈装置（6）之中；所述的方形载物平台（2）四个边的下方均设有水平激光反射板（5）。