一种晶片脱蜡设备及脱蜡方法

摘要

本发明公开了一种一体式晶片脱蜡设备，包括机架及设置在机架下部的导轨，在所述的导轨上方设置有能够沿着导轨移动的固定板，在所述的固定板上方设置有液压缸，在所述的液压缸上方设置有安装槽，在所述的安装槽内设置有用于安装晶片的安装条；在所述的机架上设置有电磁加热箱体，在所述的电磁加热箱体内设置有电磁加热圈，所述的电磁加热圈贴合在所述的电磁加热箱体内侧壁上；在所述的机架上设置有高温气化箱体，在所述的高温气化箱体侧壁上设置有高温热气喷嘴，在所述的高温气化箱体上端设置有排气口。本发明通过采用一体化设备，实现多道工序的连续操作，提高脱蜡效果，同时有效节约能源。

主权项

一种一体式晶片脱蜡设备，其特征在于：包括机架（101）及设置在机架（101）下部的导轨（102），在所述的导轨（102）上方设置有能够沿着导轨（102）移动的固定板（103），在所述的固定板（103）上方设置有液压缸（105），在所述的液压缸（105）上方设置有安装槽（104），在所述的安装槽（104）内设置有用于安装晶片的安装条（106）；在所述的机架（101）上设置有电磁加热箱体（107），在所述的电磁加热箱体（107）内设置有电磁加热圈（108），所述的电磁加热圈（108）贴合在所述的电磁加热箱体（107）内侧壁上；在所述的机架（101）上设置有高温气化箱体（109），在所述的高温气化箱体（109）侧壁上设置有高温热气喷嘴，在所述的高温气化箱体（109）上端设置有排气口；在所述的机架（101）上设置有热风干燥箱体（110），所述的电磁加热箱体（107）、高温气化箱体（109）、热风干燥箱体（110)依次沿着所述的导轨（102）方向排布且均位于所述的导轨（102）上方。