喷砂装置及形成图案的方法

摘要

本发明提供一种喷砂装置，其包括一主体具有一内部空间，一与该主体连接且出口对准该主体内部空间的喷嘴，以及一收容于该主体内部空间且与该喷嘴间隔一定距离的过滤通道。该过滤通道具有一内部通孔用于对准待喷砂的工件预定区域。本发明还提供一种形成图案的方法，其包括步骤：提供一基板，其具有一待形成图案的膜层；覆盖一干膜光阻层于该膜层；提供一具有待形成的图案的光罩并利用该光罩对该干膜光阻层曝光；显影去除可显影溶解的光阻而留下不可显影溶解的光阻成为光阻保护层；利用上述喷砂装置喷砂蚀刻去除未受该光阻保护层遮盖的该膜层；以及去除该光阻保护层，于该基板上形成膜层图案。

主权项

一种喷砂装置，其包括：一主体，其具有一内部空间；一个与该主体连接的喷嘴，该喷嘴的出口对准该主体内部空间；以及一个收容于该主体内部空间且与该喷嘴间隔一定距离的过滤通道，该过滤通道具有一内部通孔用于承接自该喷嘴喷出的砂粒并用于对准待喷砂的工件预定区域，该过滤通道包括一靠近该喷嘴的管状端部、一靠近待喷砂的工件预定区域的板状端部以及一连接该管状端部和该板状端部的圆弧形连接部，该内部通孔贯穿该管状端部和该板状端部。