CVI沉积碳连续生长炉

摘要

本实用新型属于生长炉技术领域，尤其涉及一种CVI沉积碳连续生长炉，包括加热炉体、真空系统、进料真空腔室、出料真空腔室、导向机构、牵引机构、燃烧器和反应腔室，所述反应腔室置于所述加热炉体内，所述导向机构置于所述进料真空腔室内，所述牵引机构设置于所述出料真空腔室内，所述进料真空腔室、所述反应腔室和所述出料真空腔室均与所述真空系统连接，所述进料真空腔室和所述出料真空腔室均与所述反应腔室连接，所述燃烧器与所述反应腔室连通。相对于现有技术，本实用新型在真空状态下进行碳沉积，形成的碳沉积层致密性好、均匀性好，而且连续性佳，效率高，需要的气体量少。而且导向机构和牵引机构的设置可以大大提高碳沉积的效率。

主权项

CVI沉积碳连续生长炉，其特征在于：包括加热炉体、真空系统、进料真空腔室、出料真空腔室、导向机构、牵引机构、燃烧器和反应腔室，所述反应腔室置于所述加热炉体内，所述导向机构置于所述进料真空腔室内，所述牵引机构设置于所述出料真空腔室内，所述进料真空腔室、所述反应腔室和所述出料真空腔室均与所述真空系统连接，所述进料真空腔室和所述出料真空腔室均与所述反应腔室连接，所述燃烧器与所述反应腔室连通。