微细群线电极在线制备及微细电解线切割加工方法

摘要

一种微细群线电极在线制备方法，属精密微细电化学加工领域。其特征在于包括以下过程：1、将微米级钨丝安装在群线电极夹具上，并将工具阴极安装在电解槽中；所述工具阴极具有与电极丝对应的阴极孔，为由金属层和其两侧的绝缘层组成的“三明治”对接结构；2、电解槽中加入碱性电解液将工具阴极完全浸没；3、工具阴极和群线电极分别接直流电源正、负极，实现工具阴极中金属层阴极孔径的扩大，形成“内凹”结构；4、群线电极和工具阴极分别接直流电源正、负极，并使线电极做直线往复运动；5、更换酸性电解液，并将工具阴极替换为工件，使群线电极和工件分别接超高频窄脉冲电源的正、负极，以实现微细电解线切割加工。

主权项

一种微细群线电极在线制备及微细电解线切割加工方法，其特征在于包括以下过程：步骤1、将微米级的电极丝（22）安装于工件夹具（4）上，工件夹具（4）安装于Z轴精密移动平台（3）；将工具阴极（8）安装在电解槽（10）中；电解槽（10）安装于X‑Y轴精密移动平台（2）上；所述工具阴极（8）具有与电极丝（22）对应的阴极孔；所述工具阴极（8）由金属层和位于金属层两侧的绝缘层组成；步骤2、在电解槽（10）中加碱性电解液，使工具阴极（8）完全浸没于碱性电解液中；步骤3、将工具阴极（8）接直流电源的正极，电极丝（22）接直流电源负极，实现将工具阴极（8）上的金属层阴极孔的孔径的扩大，形成“内凹”的结构，使得金属层孔径半径比绝缘层孔径半径大2‑4mm;步骤4、将电极丝（22）接直流电源正极，工具阴极（8）接直流电源的负极，实现对电极丝的电解刻蚀加工，加工过程中电极丝（22）在Z轴方向进行直线往复运动，从而将直线往复运动幅值范围内的电极丝（22）加工至亚微米尺度;步骤5、将电解槽（10）中碱性电解液更换为酸性电解液，将工具阴极(8)替换为待加工工件，将待加工工件安装到电解槽（10）中并接到超高频窄脉冲电源的正极，电极丝（22）接超高频窄脉冲电源的负极，进行微细电解线切割加工。