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发明名称
Ion beam source
摘要
<p>This invention relates an ion beam source (10) for use with a non-electrical conducting target (14) including a grid (13) for extracting ions and a power supply for supplying pulsed power to the grid (13) to extract the ions.</p>
申请公布号
EP2333807(A3)
申请公布日期
2015.11.18
申请号
EP20100275127
申请日期
2010.12.14
申请人
SPP PROCESS TECHNOLOGY SYSTEMS UK LIMITED
发明人
MACNEIL, JOHN;BENNET, PAUL GEORGE
分类号
H01J27/02;H01J37/24
主分类号
H01J27/02
代理机构
代理人
主权项
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