发明名称 Ion beam source
摘要 <p>This invention relates an ion beam source (10) for use with a non-electrical conducting target (14) including a grid (13) for extracting ions and a power supply for supplying pulsed power to the grid (13) to extract the ions.</p>
申请公布号 EP2333807(A3) 申请公布日期 2015.11.18
申请号 EP20100275127 申请日期 2010.12.14
申请人 SPP PROCESS TECHNOLOGY SYSTEMS UK LIMITED 发明人 MACNEIL, JOHN;BENNET, PAUL GEORGE
分类号 H01J27/02;H01J37/24 主分类号 H01J27/02
代理机构 代理人
主权项
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