利用三个驱动元件驱动双轴MEMS器件的方法和装置

摘要

提供了利用三个(1，2，3)非接触式驱动元件或电极驱动双轴“X－Y”MEMS镜子的方法和装置。差动双向镜子控制利用偏置以适当值的单极驱动电压实现。利用变换函数将双轴尖端倾斜指令映射变换为用于选定电极的取向和尺寸的三个激励驱动信号。

主权项

一种可受控进行双向角位移的具有两个轴的装置，包括：平台，其能够响应驱动而绕所述两个轴进行角位移；第一、第二和第三静电电极，其位于所述平台附近，仅利用所述三个电极来为所述平台提供直接的非接触式驱动，其中所述可进行角位移的两个轴的每一个将所述电极中的至少两个电极的中心分开，用以实现有效的双向角位移；三个电压控制源，其用于向所述第一、第二和第三电极提供对三个相应的静电力的独立控制；以及控制器，用于将相对于所述可进行角位移的两个轴的选定位置映射变换为所述三个静电力。