一种液态连续加料多晶硅铸锭设备及其生产方法

摘要

本发明公开了一种液态连续加料多晶硅铸锭设备，包括硅料融化炉室，所述硅料融化炉室上下两端分别设有料箱和铸锭炉室，所述硅料融化炉室和所述铸锭炉室内分别设有保温毡和铸锭炉室保温毡，所述保温毡内设有与所述料箱相配合的熔料坩埚，位于所述熔料坩埚与所述保温毡之间的空间内均匀设有若干加热器，所述熔料坩埚与所述铸锭炉室之间通过硅液流动管相连接，所述硅液流动管上下两端分别设有硅液流量控制杆和硅液喷洒装置，所述硅液流动管内相应位置设有硅液流量控制阀，位于所述硅液喷洒装置下方的所述铸锭炉室上设有与所述硅液喷洒装置相配合的铸锭坩埚护板，所述铸锭坩埚护板内设有铸锭坩埚。

主权项

一种液态连续加料多晶硅铸锭设备，其特征在于，包括硅料融化炉室（4），所述硅料融化炉室（4）上下两端分别设有料箱（18）和铸锭炉室（16），所述硅料融化炉室（4）和所述铸锭炉室（16）内分别设有保温毡（5）和铸锭炉室保温毡（15），所述保温毡（5）内设有与所述料箱（18）相配合的熔料坩埚（8），位于所述熔料坩埚（8）与所述保温毡（5）之间的空间内均匀设有若干加热器（6），所述熔料坩埚（8）与所述铸锭炉室（16）之间通过硅液流动管（10）相连接，所述硅液流动管（10）上下两端分别设有硅液流量控制杆（9）和硅液喷洒装置（12），所述硅液流动管（10）内相应位置设有硅液流量控制阀（11），位于所述硅液喷洒装置（12）下方的所述铸锭炉室（16）上设有与所述硅液喷洒装置（12）相配合的铸锭坩埚护板（14），所述铸锭坩埚护板（14）内设有铸锭坩埚，位于所述铸锭坩埚护板（14）与所述铸锭炉室保温毡（15）之间的空间内均匀设有若干铸锭炉室加热器（13）。