一种湿法刻蚀工艺中刻蚀液输送管路系统及输送方法

摘要

本发明提供一种湿法刻蚀工艺中刻蚀液输送管路系统及输送方法，在现有输送管路系统基础上改装，即在加热器至湿法刻蚀设备的刻蚀腔体之间的刻蚀液输送管路上，加装了第二流量控制阀门以及输入端回流管路进行分流，同时增大加热器处的流量控制阀门的输出流量，并保证输送至刻蚀腔体的刻蚀液流量为要求流量，从而使得加热器功率虽然会由于流量的增加而增大，但是其增幅在输入端回流管路的热量补偿作用下变得相对较小，即使得加热器功率的输出在一个相对稳定的范围，最终保证输送至湿法刻蚀设备的刻蚀腔体中的刻蚀液温度在一个安定的范围内，仅具有非常小的波动，进而保证湿法刻蚀的刻蚀速率相对稳定，提高了湿法刻蚀厚度的工艺可控性。

主权项

一种湿法刻蚀工艺中刻蚀液输送管路系统，其特征在于，包括：化学品槽、输入端回流管路、输出端回流管路、混合管路、抽液泵、加热器、第一流量控制阀门、第一输送管路、第二流量控制阀门以及第二输送管路；化学品槽盛装刻蚀液；输出端回流管路一端连接湿法刻蚀设备的刻蚀腔体输出口，另一端连接化学品槽的一个输入口；混合管路的输出口连接化学品槽的一个输入口以向化学品槽中输入添加剂；抽液泵连接化学品槽的输出口以从化学品槽中抽取刻蚀液；加热器连接抽液泵以对抽液泵抽出的刻蚀液进行加热，第一流量控制阀门连接加热器以控制加热器向第一输送管路输送加热刻蚀液的流量大于要求流量；第二流量控制阀门连接第一输送管路的输出口以及第二输送管路的输入口和输入端回流管路的输入口，将第一输送管路的加热刻蚀液分流至第二输送管路和输入端回流管路，并使第二输送管路中加热刻蚀液流量等于所述要求流量；第二输送管路的输出端连接所述湿法刻蚀设备的刻蚀腔体的输入口；输入端回流管路的输出口连接化学品槽的一个输入口。