单晶硅片及多晶硅片PECVD设备

摘要

1．本外观设计产品的名称：单晶硅片及多晶硅片PECVD设备；2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于对单晶硅片、多晶硅片的表面镀减反膜；3．本外观设计产品的设计要点：设备的形状和结构；4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图1；5．省略视图：仰视图没有技术要点，故省略。