孔径测量装置及方法

摘要

一种孔径测量装置及方法，该装置包括：底座；移动平台，设于底座上，并且相对于底座可滑动；平台驱动装置，用于驱动移动平台滑动；两个CCD相机，固定于底座上，并间隔相对设置，两个CCD相机均具有摄像镜头，并且相对安置；两个远心透镜，分别设于两个CCD相机的镜头处；两个光源，分别安装在两个远心透镜中；定位夹具，固定于移动平台上，并且位于两个摄像孔之间；反光镜，靠近定位夹具设置，反光镜的相对两侧面均为反射面；反光镜驱动装置，设于移动平台上，用于驱动反光镜移动；平台驱动装置驱动移动平台在两个CCD相机之间移动。上述孔径测量装置及方法，其可测量具有多层结构的工件的中间孔径，并且检测效率较高、速度较快、可避免刮伤待检测工件。

主权项

一种孔径测量装置，其特征在于，包括：底座；移动平台，设于所述底座上，并且相对于所述底座可滑动；平台驱动装置，用于驱动所述移动平台滑动；CCD相机A及CCD相机B，固定于所述底座上，并间隔相对设置，所述CCD相机A及CCD相机B均具有摄像孔，并且所述CCD相机A及CCD相机B的摄像孔相对设置；远心透镜A及远心透镜B，分别设于所述CCD相机A及CCD相机B的摄像孔处；光源A及光源B，分别安装在所述远心透镜A及远心透镜B上；定位夹具，固定于所述移动平台上，并且位于所述两个摄像孔之间，所述定位夹具用于夹持待测试的工件，所述工件包括至少三层的间隔设置的延伸部，每个延伸部上对应开设有通孔，并且每个延伸部的上表面与所述光源A相对，下表面与所述光源B相对；反光镜，靠近所述定位夹具设置，所述反光镜的相对两侧面均为反射面；及反光镜驱动装置，设于所述移动平台上，用于驱动反光镜移动；其中，所述CCD相机A、CCD相机B的摄像孔、远心透镜A、远心透镜B、光源A及光源B位于同一条光轴上；所述平台驱动装置驱动所述移动平台在所述CCD相机A与CCD相机B之间移动，以调节所述定位夹具与所述CCD相机A及CCD相机B的摄像孔之间的间距；所述反光镜驱动装置可驱动所述反光镜插入到所述光轴上。