电极装置以及给电解蚀刻被加工板上电的方法

摘要

本发明公开了一种电极装置以及给电解蚀刻被加工板上电的方法，电极装置包括母电极板，所述母电极板电连接上电面，上电面的外周设有密封圈，所述密封圈的顶面在不受压力时，该密封圈的顶面高于上电面的表面，所述母电极板上或旁边设有被加工板夹紧装置；方法包括采用上述电极装置，在电极装置的上电面周围设置密封圈；将电解蚀刻被加工板的下表面与密封圈相压，且使电解蚀刻被加工板的下表面与上电面保持接触，密封圈将电极装置的上电面与电解蚀刻液隔开，所述电极装置上的电通过上电面传导至电解蚀刻被加工板上。本发明能避免电极装置消耗，电极装置可以长时间使用，极大地降低了生产成本，提高了设备使用效率，便于批量生产。

主权项

一种电极装置，包括母电极板（1），其特征在于：a、所述母电极板（1）电连接上电面（5），上电面（5）的外周设有密封圈（8），b、所述密封圈（8）的顶面在不受压力时，该密封圈（8）的顶面高于上电面（5）的表面，c、所述母电极板（1）上或旁边设有被加工板夹紧装置（6）。