光波导元件以及光波导元件的制造方法

摘要

本发明的一个方面的光波导元件的制造方法包括：光波导形成工序，通过掺杂用于降低基板的矫顽电场的杂质来将沿第1方向延伸的光波导形成于基板；隆脊形成工序，形成包括光波导的第1隆脊部以及与第1隆脊部交叉的第2隆脊部；以及极化处理工序，通过对基板中的由第2隆脊部划分出的一方的区域施加电压，来将区域的极化方向反转。

主权项

一种光波导元件的制造方法，包括：光波导形成工序，通过掺杂用于降低基板的矫顽电场的杂质而将沿第1方向延伸的光波导形成于所述基板；隆脊形成工序，形成包括所述光波导的第1隆脊部以及与所述第1隆脊部交叉的第2隆脊部；以及极化处理工序，通过对所述基板中的由所述第2隆脊部划分出的一方的区域施加电压，而将所述区域的极化方向反转。