电磁波屏蔽板

摘要

提供廉价且能够同时实现优良的屏蔽特性和显示器的视觉辨认特性，根据需要还能够赋予高的耐环境性的电磁波屏蔽板。关于电磁波屏蔽板(1)，在由钠钙玻璃构成的玻璃基板(2)上，形成中间层(3)，在其上形成由Al构成的导电层(4)，在中间层(3)以及导电层(4)中，在通过溅射或者真空蒸镀形成了它们之后，通过湿式蚀刻，形成了开口部(5)。进而，在形成开口部(5)之后的包括中间层(3)以及导电层(4)的玻璃面整体中，形成了ITO层(6)。在该结构中，中间层(3)由从铬、钼、以及钨选择的至少一个金属、和从硅的氧化物、铝的氧化物、以及钛的氧化物选择的至少一个氧化物的混合物构成。

主权项

一种电磁波屏蔽板，在玻璃基板上形成中间层并在其上形成由铝构成的导电层而成，其特征在于：所述中间层以及所述导电层在通过溅射或者真空蒸镀被形成之后，通过湿式蚀刻形成开口部，所述中间层由从铬、钼以及钨中选择的至少一个金属和从硅的氧化物、铝的氧化物以及钛的氧化物中选择的至少一个氧化物的混合物构成。