一种微波等离子体炬装置

摘要

本发明提出一种微波等离子体炬装置，包括腔体部分，微波耦合部分和调谐部分；腔体部分包括由内向外依次同轴设置的内管、中管、外管，腔体部分一端为开口端、另一端设置所述调谐部分用以调整开口端的场强，外管侧壁设有微波耦合开口，微波耦合部分经过该微波耦合开口与腔体部分微波耦合、在外管和中管间形成第一微波谐振腔，内管和中管间设有用以将内管和中管同轴固定的多孔垫片，所述第一微波谐振腔经过腔体部分的开口端将微波耦合至内管和中管间形成第二微波谐振腔，所述多孔垫片的上表面配置为该第二微波谐振腔的反射面。本发明适用功率范围更宽，获得的等离子气体稳定性极佳，进一步可避免由于高强电场致热与等离子体热源叠加引发的系列问题。

主权项

一种微波等离子体炬装置，其特征在于，包括腔体部分，微波耦合部分和调谐部分；腔体部分包括由内向外依次同轴设置的内管、中管、外管，腔体部分一端为开口端、另一端设置所述调谐部分用以调整开口端的场强，外管侧壁设有微波耦合开口，微波耦合部分经过该微波耦合开口与腔体部分微波耦合、在外管和中管间形成第一微波谐振腔，内管和中管间设有用以将内管和中管同轴固定的多孔垫片，所述第一微波谐振腔经过腔体部分的开口端将微波耦合至内管和中管间形成第二微波谐振腔，所述多孔垫片的上表面配置为该第二微波谐振腔的反射面。