| 摘要 |
본 발명의 수성 가공액은 와이어 소에 의한 취성 재료 절단시에 사용하는 수성 가공액이며, 물에, 아세틸렌글리콜의 알킬렌옥시드 부가물과, 글리콜류를 배합하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. 본 발명의 수성 가공액에 따르면, 와이어를 사용하여 취성 재료를 절단한 경우에 양호한 절단 정밀도를 얻을 수 있기 때문에, 구경이 큰 웨이퍼를 잘라낼 때에 적합하다. 본 발명의 수성 가공액은, 특히 고정 지립 방식의 와이어 소에 적절하게 사용할 수 있다. |
