| 摘要 |
<p>(과제) 스크라이브 공정의 가공 중에 있어서, 완전 분단이 발생함으로써 생기는 문제를 미연에 해소할 수 있는 스크라이브 장치를 제공한다. (해결 수단) 가공 대상인 취성 재료 기판(M)의 상면에 스크라이브 라인을 가공하기 위한 상부 커터 휠(2)과, 기판(M)의 하면에 스크라이브 라인을 가공하기 위한 하부 커터 휠(3) 중, 적어도 어느 한쪽을 구비한 스크라이브 장치(1)로서, 취성 재료 기판(M)의 스크라이브 라인(S1, S2)이 형성되는 면을 기판 기준면(R1 또는 R2)으로 하여, 이 기판 기준면으로부터 기판(M)의 적어도 일부가 커터 휠(2)측으로 변위했을 때에 이를 검지하는 변위 검지 기구(7)를 설치하도록 한다.</p> |
