晶圆形物品的处理方法及设备;METHOD AND APPARATUS FOR PROCESSING WAFER-SHAPED ARTICLES

摘要

本发明系关于一种晶圆形物品的处理方法及装置，包含：旋转夹盘，用以支撑晶圆形物品并使该晶圆形物品绕着旋转轴旋转；至少一配送器，用以将液体配送到晶圆形物品之至少一表面上。收集器，环绕该旋转夹盘以收集处理液体，该收集器具有至少两个收集器阶层，以分别收集在不同的收集器阶层的液体。每一收集器阶层均包含一排气收集腔室，其系连接至各别的排气导管。该等排气导管中至少一个包含阀门机构，当将该排气导管开放至该收集器之外在环境时，该阀门机构乃往复地限制来自其相关联之排气导管的排气流，反之亦然。