安定时间的取得方法

摘要

本发明一种态样之安定时间的取得方法，其特征为：使用藉由来自DAC(数位/类比转换器)放大器的偏向讯号而将带电粒子束偏向之偏向器，于第1时间设定DAC放大器的安定时间，并藉由偏向器，以成为比用来评估DAC放大器的安定时间之评估偏向移动量还小之偏向移动量的方式，使带电粒子束偏向至试料上，藉此形成宽度尺寸的两端是由不同的2击发的射束所描绘之参考图样，利用复数个相异之第2时间将DAC放大器的安定时间设定为可变，同时，于每个被设定为可变之第2时间，并藉由偏向器，以连续2击发之偏向移动量成为用来评估DAC放大器的安定时间之评估偏向移动量的方式，使带电粒子束偏向至试料上，藉此形成设计上和参考图样为相同宽度尺寸的两端是由连续2击发的射束所描绘之评估图样，对于每个被设定为可变之第2时间，演算评估图样的宽度尺寸与参考图样的宽度尺寸之差分，利用每个第2时间的差分，取得用来令其偏向偏向移动量所必须之DAC放大器的安定时间。