曝光方法及曝光装置、以及元件制造方法

摘要

藉由驱动装置，根据用以测量晶圆载台(WST)在Y轴方向之位置资讯之编码器(62A)的测量值、与该编码器所测量之标尺(39Y1)之平面度的相关资讯，使晶圆载台WST驱动于Y轴方向。此时，可根据以与标尺平面度相关之资讯修正该编码器之测量值所含之标尺平面度所造成之测量误差后的测量值，来将晶圆载台驱动于既定方向。是以，可不受标尺凹凸之影响，使用编码器将晶圆载台WST以良好精度驱动于既定方向。