微影设备及方法、和制造物品的方法;LITHOGRAPHY APPARATUS AND METHOD, AND METHOD OF MANUFACTURING AN ARTICLE

摘要

用于在基板上以带电粒子束施行布图的微影设备被提供。该设备之光学系统具有调整该带电粒子束的焦点位置及该带电粒子束在该基板上之照射位置的功能，并以该带电粒子束照射该基板。该设备之控制器控制该光学系统，使得该该布图系基于该焦点位置的调整用之基板的表面形状，以该布图所伴随的焦点位置及照射位置之调整来施行。