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经营范围
发明名称
HEAT TREATMENT FURNACE AND HEAT TREATMENT APPARATUS
摘要
열처리로는, 하나 이상의 피처리체를 수용하는 처리 용기와, 상기 처리 용기의 주위를 덮는 원통 형상의 단열재와, 상기 단열재의 내주면을 따라 배치된 히터를 구비하고, 이 히터는 단열재의 내주면을 따라 배치되는 코러게이트형의 띠 형상 히터 엘리먼트를 구비하고, 상기 히터 엘리먼트는 외측으로 돌출되는 골부와, 내측으로 돌출되는 마루부를 갖는다.
申请公布号
KR101569557(B1)
申请公布日期
2015.11.16
申请号
KR20120066283
申请日期
2012.06.20
申请人
도쿄엘렉트론가부시키가이샤;니찌아스 카부시키카이샤
发明人
고바야시 마꼬또;야마가 겐이찌;사사끼 아끼라;이께다 다이스께;고이께 다까히로
分类号
H01L21/02;H01L21/205;H01L21/22
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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