高频电浆处理装置及高频电浆处理方法

摘要

提供一种难以在接触于施加有高频电力之电极之绝缘物的部分产生沿面放电的高频电浆处理装置及高频电浆处理方法。一种具有接触于绝缘物(17)的电极(13)，而对电极(13)施加高频电力，藉由藉此而产生的电浆，来对基板(G)进行电浆处理的高频电浆处理装置，系具备有：处理室(4)，对基板(G)进行电浆处理；电极收容部(3)，收容接触于绝缘物(17)之状态的电极(13)；高频电源(15)，对电极(13)施加高频电力；及湿度调整手段(58)，以在电极收容部(3)内不产生沿面放电的方式，调整电极收容部(3)内的湿度。