臭氧水供给方法及臭氧水供给装置

摘要

一种臭氧水供给方法，其特征在于：将原料超纯水供给至循环槽，而且将未于用户端使用之回流臭氧水送回该循环槽，并且将该循环槽内之被溶解水以固定的供给量供给至臭氧溶解机构，以该臭氧溶解机构使臭氧溶解于该被溶解水而得到臭氧溶解水，接着将得到之该臭氧溶解水供给至该用户端；对放电式的臭氧产生机构供给氮气含量为0.01体积百分比以下之氧气作为原料氧气，接着将得到之该含臭氧气体供给至该臭氧溶解机构；调节供给至该循环槽之该原料超纯水的供给量；调节该臭氧溶解水中之溶存臭氧浓度。 根据本发明，可提供一种臭氧水供给方法及用以实施该方法之臭氧水供给装置，其在使用放电式的臭氧产生机构作为臭氧产生机构之情形下，可抑制硝酸于循环系统内的蓄积。 无。