晶舟;BOAT

摘要

本发明系揭露一晶舟。根据本发明的一实施例，一用于将复数个基材装载成垂直堆叠之晶舟系包括一环固持件，以供支撑各基材的一底部份及安置该基材，及复数个支撑杆，以供支撑环固持件的一底部份且具有第一端以安置环固持件，其中环固持件及支撑杆系在基材的一投影区域内整体性连接至彼此。