荷电粒子射束描绘装置及荷电粒子射束描绘方法

摘要

本发明之一态样之荷电粒子射束描绘装置之特征为：具备有：放出部，其系放出荷电粒子射束；载台，其系供载置描绘对象试料；接物透镜，其系将荷电粒子射束对焦在试料面上；腔室，其系将载台配置在内部；测定部，其系在腔室内被控制成比大气压为更低的压力的状态下，测定腔室内的预定的气体的分压；及调整部，其系按照预定的气体的分压，调整将荷电粒子射束对焦在试料面上的聚焦位置。