| 摘要 |
<p>프로브 시스템이 개시된다. 프로브 시스템은 검사 대상인 회로기판을 상기 베이스 플레이트에 대해 수직하게 파지할 수 있는 지지부재, 회로기판의 도전성 패턴과 접촉하는 탐침을 구비하는 프로브팁 부재, 프로브팁 부재와 결합하여 프로팁 부재를 원하는 위치로 이동시킬 수 있는 가이드팔 부재 및 프로브팁 부재의 탐침에 전기적으로 연결되어 회로기판에 형성된 도전성 패턴의 전자기적 특성을 분석하는 네트워크 분석 장치를 포함한다. 또한, 이 프로브 시스템을 이용한 네트워크 분석 장치의 멀티포트 보정 시에 유용한 캘리브레이션 키트가 개시된다.</p> |
