探测器

摘要

提供一种可防止基板之半导体元件之检查的处理量下降之探测器。探测器(10)，系具备有：平台(11)，具有载置有形成半导体元件之晶圆(W)的水平载置面(11a)；探针卡(16)，与该平台(11)相对向；及3个滚筒机构(26)，具有垂直的旋转轴，而且在所载置的晶圆(W)周围，于圆周上以等间隔予以配置，各滚筒机构(26)，系接触于晶圆(W)的外周，而使晶圆(W)在水平面内旋转。