光罩及其制造方法;RETICLE AND METHOD OF FABRICATING THE SAME

摘要

提供一种光罩和制造光罩的方法。在各实施方式中，光罩包括基板、图案化的第一衰减层、图案化的第二衰减层和图案化的第三衰减层。图案化的第一衰减层配置于基板上。图案化的第二衰减层配置于图案化的第一衰减层上。图案化的第三衰减层配置于图案化的第二衰减层上。图案化的第一衰减层的第一部份、图案化的第二衰减层的第一部份以及图案化的第三衰减层堆叠于基板上作为双光强度光罩部份。