光学装置及用于校正光学装置之方法;OPTICAL APPARATUS AND METHOD FOR CALIBRATION OF OPTICAL APPARATUS

摘要

一种光学装置包含一固持一工件之架座。一由复数个光学头形成之阵列将各自辐射图案投射至该工件上。一校正总成撷取该等各自图案之影像。一上面安装有该校正总成之运动总成在该等光学头之该阵列与该架座间之复数个不同位置之间输送该校正总成，以在各该不同位置处对一由该等光学头其中之一不同者投射之各自图案进行拦截及成像。一处理器处理由该校正总成在该等不同位置处撷取之该等影像，以监视该装置之运作。