| 摘要 |
전자 부품 등의 미소 부품의 절단 가공 시, 우수한 절단 정밀도 및 절삭 칩의 저감을 실현할 수 있는 점착 시트를 제공한다. 본 발명의 점착 시트는, 복수의 열팽창성 미소구를 포함하는 점착제층과, 해당 점착제층의 편측에 배치된 계류층을 구비하고, 적어도 1개 이상의 열팽창성 미소구가 해당 점착제층으로부터 돌출되고, 돌출된 해당 열팽창성 미소구가 계류층에 매립되어 있다. 바람직한 실시 형태에 있어서는, 상기 점착제층이, 해당 점착제층의 두께보다 큰 입자 직경을 갖는 열팽창성 미소구를 포함한다. |
