| 发明名称 |
可移除的基板托盘和组件以及包含该基板托盘和组件的反应器;REMOVABLE SUBSTRATE TRAY AND ASSEMBLY AND REACTOR INCLUDING SAME |
| 摘要 |
本发明揭示一种基板托盘、一种包含一基板托盘之基座组件以及一种包含一基板托盘及/或基座组件之反应器。该基板托盘经组态以在处理期间保持一基板且其可由一实质上非反应性材料形成。该基板托盘可被由另一材料形成之一基座收纳以形成该基座组件。 |
| 申请公布号 |
TW201542865 |
申请公布日期 |
2015.11.16 |
| 申请号 |
TW104107888 |
申请日期 |
2015.03.12 |
| 申请人 |
ＡＳＭ智慧财产控股公司 ASM IP HOLDING B. V. |
发明人 |
希尔 艾瑞克 HILL, ERIC;托勒 约翰 TOLLE, JOHN;古德曼 马修 GOODMAN, MATTHEW |
| 分类号 |
C23C16/458(2006.01);C23C16/455(2006.01);H01L21/67(2006.01) |
主分类号 |
C23C16/458(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
阎启泰林景郁 |
| 主权项 |
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| 地址 |
荷兰 NL |
