转移奈米结构材料堆叠体之方法及装置;NANOSTRUCTURE MATERIAL STACK-TRANSFER METHODS AND DEVICES

摘要

于一面向，提供用于生产多层奈米结构材料复合物之方法，以及由该等方法制造之装置。于另一面向，提供包含使用可促进奈米结构材料层之转移之外涂含氟层之方法，以及由该等方法制造之装置。