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发明名称
X射线产生装置、X射线装置以及结构物之制造方法
摘要
X射线产生装置系藉由自阴极发射之电子束到达靶材而发射X射线者,且具有于阴极及靶材之间相互串联连接且分别使电子束加速之第1及第2高电压电源,且第2高电压电源系以使第2高电压电源产生之第2高电压之变动成分之相位相对于第1高电压电源产生之第1高电压之变动成分之相位成为特定关系之方式输出第2高电压。
申请公布号
TW201543964
申请公布日期
2015.11.16
申请号
TW104109517
申请日期
2015.03.25
申请人
尼康股份有限公司 NIKON CORPORATION
发明人
远藤刚 ENDO, TAKESHI;三浦聪 MIURA, SATOSHI
分类号
H05G1/08(2006.01);H05G1/10(2006.01);G01B15/04(2006.01)
主分类号
H05G1/08(2006.01)
代理机构
代理人
阎启泰林景郁
主权项
地址
日本 JP
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