| 摘要 |
본 발명은 기재(9)에 코팅을 증착하고 전원(P)에 접속될 수 있는 플라즈마 소스(1)에 관한 것이고, 상기 플라즈마 소스(1)는 전극(2); 상기 전극의 주변에 위치되어 있고, 자기 브래킷(46)에 의해 함께 상호 연결된 자석의 세트를 포함하고 제1 및 제2 중앙 자석(43, 44) 및 적어도 하나의 헤드 자석(45)을 포함하는 자석 어셈블리(4); 및 상기 전극 및 상기 자석을 둘러싸도록 배치된 전기 절연 엔클로저(5)를 포함하고 있다. |
