发明名称 |
METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR LIGHT-EMITTING ELEMENT |
摘要 |
규칙적으로 배열되고 크기가 갖은 균일한 돌출부들을 갖는 매우 신뢰할 수 있는 반도체 발광소자 및 그 제조방법이 제공된다. 본 발명에 따른 반도체 발광소자 제조방법은; 반도체 구조층의 표면에 반도체 구조층의 결정축을 따라 동일한 간격으로 배열된 복수의 개구들을 갖는 마스크층을 형성하는 단계; 마스크층에 있는 개구들로부터 노출된 반도체 구조층의 표면에 플라즈마 처리를 수행하는 단계; 마스크층을 제거하는 단계; 및 복수의 개구들의 배열 형태에 따라 배열되고 반도체 구조층의 표면에 반도체 구조층의 결정구조로부터 도출된 복수의 돌출부들을 형성하기 위해 상기 반도체 구조층의 표면을 습식에칭하는 단계를 포함한다. |
申请公布号 |
KR20150127096(A) |
申请公布日期 |
2015.11.16 |
申请号 |
KR20157025042 |
申请日期 |
2014.03.05 |
申请人 |
STANLEY ELECTRIC CO., LTD. |
发明人 |
AKAGI TAKANOBU;SAITO TATSUMA;MIYACHI MAMORU |
分类号 |
H01L33/20;H01L33/00;H01L33/16;H01L33/32 |
主分类号 |
H01L33/20 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|