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发明名称
场效电晶体之具有基脚之闸极结构;GATE STRUCTURE OF FIELD EFFECT TRANSISTOR WITH FOOTING
摘要
本申请案揭示内容的一些实施例系提供一种场效电晶体结构,其包含第一半导体结构与闸极结构。该第一半导体结构包含通道区以及源极区与汲极区。该源极区与该汲极区系分别形成于该通道区的对侧上。该闸极结构包含中心区与基脚区。该中心区系形成于该第一半导体结构上方。该基脚区系形成于该中心区的对侧上并且沿着着该中心区与该第一半导体结构相邻之处。
申请公布号
TW201543674
申请公布日期
2015.11.16
申请号
TW103146006
申请日期
2014.12.29
申请人
台湾积体电路制造股份有限公司 TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY LTD.
发明人
张哲诚 CHANG, CHE CHENG;陈建颖 CHEN, CHANG YIN;林志忠 LIN, JR JUNG;林志翰 LIN, CHIH HAN;张永融 CHANG, YUNG JUNG
分类号
H01L29/66(2006.01);H01L29/78(2006.01)
主分类号
H01L29/66(2006.01)
代理机构
代理人
冯博生
主权项
地址
新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 TW
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