量测装置及量测方法

摘要

一种量测装置包含一光学单元、一位置侦测器，及一运算单元，该光学单元发射连续的雷射光束至一待测物体的表面并产生复数反射光，该位置侦测器用以接收该等反射光且包括一第一、第二电极，每一反射光分别在该第一、第二电极形成一第一、第二电流，该运算单元电连接该位置侦测器以接收每一第一、第二电流，且将该第一、第二电流分别进行相减、相加来产生一减法信号，及一加法信号，该运算单元根据该等减法信号与该等加法信号进行运算来得到该待测物体的表面的曲率，其中该曲率与该减法信号成正比，且与该加法信号成反比。