| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Beleuchtungseinrichtung (10) für ein Mikroskop bzw. für ein optisches 3D-Oberflächenmessgerät (100), insbesondere für ein optisches 3D- Oberflächenmessgerät nach dem Prinzip der Fokusvariation, umfassend flächig angeordnete Lichtquellen (20) zur Erzeugung eines Beleuchtungsspektrums sowie eine Beleuchtungsoptik (30, 40) zur Abbildung des Beleuchtungsspektrums auf ein zu untersuchendes Objekt (200), wobei die Lichtquellen (20) LED-Dioden (21) sind und die Beleuchtungsoptik eine Anordnung von mehreren Sammellinsen (30) sowie zumindest eine Fresnellinse (40) umfasst, wobei die von den LED-Dioden (21) emittierten Lichtstrahlen zuerst auf die Sammellinsen (30) treffen und als im Wesentlichen zueinander parallelgerichtete Eintrittslichtstrahlen (EL) weiter auf die Fresnellinse (40) treffen. Die zumindest eine Fresnellinse (40) ist in reflektierender Anordnung so orientiert, dass Linsenspitzen (42) einer Prismenstruktur (41) an einer von den Sammellinsen (30) abgewandten Lichtaustrittsseite (44) der Fresnellinse (40) angeordnet sind.</p> |
