| 摘要 |
회전식 타깃 캐소드를 위한 마그네트론 조립체는 강성의 지지 구조물, 상기 강성의 지지 구조물에 이동가능하게 부착된 자석 바 구조물, 및 상기 강성의 지지 구조물에 결합되고, 회전가능한 타깃 실린더의 표면으로부터 상기 자석 바 구조물의 거리를 변화시키도록 구성된 적어도 하나의 작동 기구를 포함한다. 상기 마그네트론 조립체는 상기 회전가능한 타깃 실린더의 표면에 대해 상기 자석 바 구조물의 위치를 측정하도록 동작가능한 위치 지시 기구를 더 포함한다. 통신 디바이스는 상기 마그네트론 조립체의 외부로부터 커맨드 신호를 수신하고 상기 마그네트론 조립체의 외부로 정보 신호를 송신하도록 구성된다. |
