| 摘要 |
<p>본 발명은 다층 프로세싱 시퀀스 및 다층/다중입력/다중출력(MLMIMO : Multi-Layer/Multi-Input/Multi-Output) 모델 및 라이브러리를 이용하여 기판을 프로세싱하는 방법을 제공하고, 상기 다층/다중입력/다중출력 모델 및 라이브러리는 하나 이상의 마스킹 층 생성 프로시저, 하나 이상의 사전-프로세싱 측정 프로시저, 하나 이상의 부분-에칭(P-E) 프로시저, 하나 이상의 최종-에칭(F-E) 프로시저, 및 하나 이상의 프로세싱 이후의 측정 프로시저를 포함할 수 있다.</p> |
