| 摘要 |
<p>本発明は、構造に対して測定センサ（４５、４６、４７）を位置決めする目的で、物体（２０）例えばウェハの表面を通じて前記構造を位置特定するためのイメージングデバイスであって、（ｉ）イメージングセンサ（２２）と、（ｉｉ）上記イメージングセンサ（２２）上で、視野内の物体（２０）の画像を生成することが可能な光学イメージング手段（３４）と、（ｉｉｉ）照明ビーム（２５、３０）を生成し、反射において上記視野を照明するための照明手段（２３、２７）とを備え、照明手段（２３、２７）は、スペクトル成分が前記物体（２０）の性質に適合されている照明ビーム（２５、３０）であり、それによって、上記ビーム（２５、３０）の光が実質的に上記物体（２０）内に貫入することが可能である、照明ビーム（２５、３０）を生成することが可能である、イメージングデバイスに関する。本発明はまた、物体（２０）例えばウェハに対する寸法測定を実行するためのシステムおよび方法にも関する。</p> |
